NIST Standart Referans Malzeme Parçacık Boyutu Kalibrasyonu
KLA ve KLA-Tencor gofret denetim sistemlerinin boyut doğruluğunu doğrulamak için Kalibrasyon ve Kirlenme Gofreti Standartlarında kullanılan NIST, Standart Referans Malzeme, polistiren mikro küreler ve boncuklar.
Açıklama
NIST SRM, Partikül Büyüklüğü Standartları, PSL Küreleri, Boyut Kalibrasyonu
NIST SRM partikül ebadı standartları, son derece hassas ebat, dar ebatlı tepe noktaları ve dar standart sapma ile NIST SRM (ebat referans malzemesi) ebat standardı gerektiren herhangi bir uygulamada kullanılmak üzere dünya çapında bilinen kalibrasyon standartlarıdır. Hafif saçılma cihazları, elektron mikroskopları ve diferansiyel mobilite analizörleri dahil olmak üzere çeşitli parçacık boyutlandırma ekipmanının kalibrasyonu ve doğrulanması için kullanılabilirler. Silikon gofret üzerindeki kusurları tespit etmek ve karakterize etmek için kullanılan yüzey tarama kontrol sistemlerinin kalibrasyonu için özellikle önemlidir. Cihazın minyatürleştirilmesi için çok önemli olan yüksek verimli, uygun maliyetli gofret üretimi için tarama sistemlerini geliştirmek ve ilerletmek için doğru referans parçacıklarına ihtiyaç vardır. Referans parçacıklar, aerosol aletlerinin test edilmesi için tek yayılı (tek boyutlu tepe) partiküllerin sağlanması için de kullanılabilir ve aerosol kinetiğini incelemek ve partikül detektör tepkisini değerlendirmek için faydalıdır.
Model çapı için sertifikalı değer:
60 nm SRM 1964 polistiren mikroküreler, ± 60.39 nm'lik genişletilmiş bir belirsizlikle 0.63 nm'dir;
100 nm SRM 1963A polistiren mikroküreler, ± 101.8 nm'lik genişletilmiş bir belirsizlikle 1.1 nm'dir;
269 nm SRM 1691 polistiren mikroküreler, ± 269 nm'lik genişletilmiş bir belirsizlikle 4 nm'dir;
895 nm SRM 1690 polistiren mikroküreler, ± 895 nm'lik genişletilmiş bir belirsizliğe sahip 5 nm'dir.
Ölçümler diferansiyel hareketlilik analizi kullanılarak yapıldı ve uzunluk için temel standarda göre belirlenmiş olan havadaki He-Ne lazer dalga boyuna, 632.807 nm'ye kadar izlenebilir.
Polistiren Lateks Mikroküreler, 20-900nm, Polistiren Lateks parçacıkları - Satın Alın
Polistiren Lateks Mikroküreler, 1um-160um, Polistiren Lateks parçacıkları - Satın Alın
Küresel çaplar, NIST tarafından hesaplanan doğrusal boyutlarla kalibre edilir. Şekillendirilmiş parçacıklara duyarlı olan lazer tarayıcıların tepkisini asgariye indirmek için düzensiz şekilli parçacıklar yerine küreler kullanılır. Standartlar, 5 mililitre (mL) damlalık uçlu şişelerde sulu süspansiyonlar halinde paketlenir. Parçacık konsantrasyonları dağılma kolaylığı ve koloidal stabilite için optimize edilmiştir. Küreler, 1.05 g / cm3 yoğunluğuna ve 1.59 derece santigrat derecesinde ölçülen 589 @ 25 nm kırılma indisine sahiptir.
Her pakette, kalibrasyon yönteminin ve belirsizliğinin bir tanımını ve kimyasal ve fiziksel özelliklerin bir tablosunu içeren NIST için bir Kalibrasyon ve İzlenebilirlik Sertifikası bulunur. Kullanma ve elden çıkarma talimatlarını içeren bir Malzeme Güvenlik Bilgi Formu da mevcuttur. PSL şişeleri, satış sonrası uygun teknik servis ve destek için lotla numaralandırılmıştır.
NIST SRM Küreleri | 60.4nm, 101.8nm, 269nm ve 895nm |
Parçacık Kompozisyonu | Polistiren Lateks, PSL Küreleri |
Parçacık yoğunluğu | 0.625 g / cm³ |
Kırılma İndeksi | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
Şişe Boyutu | 5 mi |
Son kullanma tarihi | ≤ 24 ay |
Katkı | Eser miktarda yüzey aktif madde içerir |
Önerilen Depolama Sıcaklığı | 2-8 ° C |
Şişe boyutu ve hacmi | 5ml Şişe |
PSL Küreleri, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm | ||||
Ürün Parçası # |
Nominal çap |
Sertifikalı Ortalama Tepe |
Std. Geliştirme ve CV |
Katılar İçeriği |
AP1690 |
895 nm |
895nm ± 5 nm |
0.7 nm |
%0.50 |
AP1691 |
269 nm |
269nm ± 4 nm |
5.3 nm |
%0.50 |
AP1963A |
101.8 nm |
101.8nm ± 1.1 nm |
0.55 nm |
%0.50 |
AP1964 |
60.4 nm |
60.39nm ± 0.63 nm |
0.31 nm |
%0.50 |