Gofret Muayene Uygulamaları

Applied Physics levha inceleme uygulamalarınız için PSL Küreleri ve Proses Parçacıkları sağlar. KLA-Tencor, TopCon, ADE, Hitachi gibi şirketler, ilgili plaka inceleme sistemlerinin boyut yanıt eğrilerini kalibre etmek için PSL kürelerini kullanıyor. Birçok Yarı İletken şirketi, levha inceleme araçları için parçacık boyutu yanıt eğrileri oluşturmak için Proses Parçacıklarını kullanır ve ayrıca WET Bench araçlarına meydan okuyarak WET Bench'in kontrollü koşullar altında gerçek parçacıkları gidermede ne kadar verimli olduğunu görmek için proses parçacıklarını kullanır. PSL Küreleri küreseldir ve belirli çaplara göre insan yapımıdır; Proses Parçacıkları ise boyut ve şekil açısından tekdüze değildir ve bu sayfanın son bölümünde tartışıldığı gibi çeşitli proses parçacıkları halinde gelir.

PSL Küreleri - PSL Küreleri satın alın

Taramalı Yüzey Kontrol Sistemleri (SSIS) olarak da adlandırılan Gofret Kontrol Sistemleri, gofret yüzeyinin temizliğini denetlemek için kullanılır; çıplak silikon veya film kaplı yüzey. SSIS, parçacıkların X/Y konumunu tanımlayabilir ve her bir parçacığın boyutunun yanı sıra levha yüzeyindeki genel sayımı tanımlayabilir. Tencor 6200, 6420 ve KLA-Tencor SP1, SP2 ve SPX gibi KLA-Tencor levha inceleme sistemleri bu uygulama için yarı iletken endüstrisinin tamamında kullanılmaktadır. Topcon'un 3000, 5000 ve 7000 serisi Gofret Kontrol Sistemleri bulunmaktadır. Estek, ADE, Aeronca ve Hitachi ayrıca çeşitli levha inceleme sistemleri de sunmaktadır. Bugün üretilen neredeyse her SSIS artık 40 nm veya daha iyi parçacık boyutu hassasiyetinde tespit yapabiliyor. PSL Küreleri, gofret yüzeyindeki parçacıkları temsil etmek için kullanılır. Applied Physics yaklaşık 40nm'den 4um'a kadar PSL boyutları sunar. PSL Küreleri üç kullanım versiyonuyla sipariş edilebilir.

PSL Küreleri, Parçacık Gofret Standartları olarak da adlandırılan PSL Gofret Standartlarını üretmek için PSL Gofret Biriktirme Sistemleri ile birlikte kullanılır. Her iki durumda da, levha, VLSI, Brumley South, JSR, MSP'nin bu araçlarından biri tarafından üretildikten sonra, levha standardı bir levha inceleme sistemine yerleştirilir ve tek bir lazer SSIS veya ikili lazer SSIS tarafından taranır. Gerçek PSL boyutu yanıtı SSIS boyutu yanıtıyla karşılaştırılır. İki tepe noktası eşleşmiyorsa SSIS'nin kalibre edilmesi gerekir.

Yalnızca JSR, Brumley South ve eski VLSI Standartlarına uygun PDS ürünleri tarafından üretilen PSL biriktirme sistemleri için önceden karıştırılmış, düşük konsantrasyonlu.

Önceden karıştırılmış, yüksek konsantrasyonlu PSL Küreleri MSP 2300B, 2300C, 2300D, 2300XP1/XP2 ve 2300 NPT-1 levha sistemleri içindir.

Karışımsız PSL Küreleri, genellikle% 1 konsantrasyonunda.

Önceden karıştırılmış PSL Küreleri, 50 ml'lik bir şişede gelir, boyut olarak tek dağılımlıdır (1 boyut dağılımı) ve yaklaşık 47 nm ila 950 nm boyut arasında sağlanır. Bu PSL çözeltisi doğrudan nebülizöre veya atomizer kabına dökülür. Önceden karıştırma, PSL Kürelerini satın almanın uygun bir yoludur, çünkü tüm seyreltme çok düzgün bir şekilde gerçekleştirilmiştir, karışıklık yok, karışıklık yok, bu da kullanıcının PSL malzemesini beherler, DI su ve ultrasonik kullanarak karıştırmakla uğraşmamasına olanak tanıyor. tepsiler.

Karıştırılmamış PSL malzemesi 15 ml'lik bir şişede, boyutta tek dağılımlı (1 boyut dağılımı) ve genellikle %1'lik bir konsantrasyonda sağlanır. Bu PSL Küreleri geniş bir boyut yelpazesinde sunulmaktadır, ancak bizim amaçlarımız açısından boyutları 20nm'den 4um'a kadardır. PSL malzemesi uygun seyreltme ile karıştırılmalıdır, aksi takdirde yukarıdaki PSL Gofret Biriktirme Sistemlerinden biri ile biriktirmeye çalışırken etkili sonuçlar sağlamak için çok konsantre veya çok zayıf olacaktır.

Proses Parçacıkları - İşlem Parçacıklarını Satın Alın

Proses Parçacıkları, bir DiH2O çözeltisi içinde Si, SiO2, Al3O2, TiO3, Si4N2, Ti, W, Cu, Ta parçacıkları olarak sağlanır. Parçacıklar PSL'den farklı olarak belirli bir kırılma indisine sahiptir. Parçacıklar boyut ve şekil bakımından tekdüze değildir ve PSL Kürelerinden farklı bir kırılma indisi sağlar. Parçacıklar, belirli bir parçacık türü için gerçek boyut yanıt eğrisini oluşturmak için kullanılabilir; veya bir ISLAK Tezgahın temizleme verimliliğini zorlamak için bir levha yüzeyine biriktirmek için kullanılabilir. Parçacıklar yukarıda açıklanan türlerde sunulur ve 100 ml'lik bir DI su çözeltisi içinde sağlanır. Parçacıklar boyut olarak çok dağılmıştır (aynı şişede birçok boyut tepe noktası). 40nm ila 200nm, 200nm ila 500nm ve 500nm ila 1um boyutlarında belirli boyut aralıklarında parçacıklar sipariş edilebilir.