Applied Physics Amerika Birleşik Devletleri
Polistiren Lateks Boncuk, Parçacık Büyüklüğü Standartları
Applied Physics ABD: PSL Küreleri, Polistiren Mikro Küreler, Parçacık Boyutu Standartları
Applied Physics ABD, aerosol alet kalibrasyonu için parçacık boyutu standartları olarak PSL Küreleri ve polistiren boncuklar sağlar. KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE ve Hitachi gibi Gofret Muayene araçları da polistiren lateks küreler kullanılarak gerçekleştirilen boyut kalibrasyonu gerektirir. PSL küreleri, polistiren mikroküreler ve boncuklar, ilgili gofret inceleme sistemlerinin ve lazer parçacık sayaçlarının boyut yanıt eğrilerini kalibre etmek için 20 nm ila 10 mikron boyutlarında sağlanır. 20 nm'den yaklaşık 5 mikrona kadar olan PSL Küreleri tipik olarak lazer parçacık sayaçlarının boyut yanıtını kalibre etmek için kullanılır. Polistiren mikroküreler, KLA-Tencor Surfscan araçlarının ve daha eski Tencor Surfscan araçlarının boyut tepkisini kalibre etmek için kullanılan Kalibrasyon Gofret Standartları ve Partikül Gofret Standartlarını üretmek için kullanılabilir.
Applied Physics Amerika Birleşik Devletleri
Polistiren lateks boncuklar aranarak sipariş edilebilir Applied Physics at (719) 428-4042.
Tarama Yüzey İnceleme Sistemleri olarak anılan Gofret Muayene Sistemleri, özellikle KLA-Tencor ve Hitachi'den SSIS, belirli boyutlarda ve dar boyut dağılımında PSL küreleri ile biriktirilen Prime Silikon gofretler olan PSL Gofret Standartları kullanılarak kalibre edilir. Gofret kontrol araçları, 300 mm, 200 mm, 150 mm wafer yüzeylerinin temizliğini denetlemek için kullanılır; çıplak silikon veya film kaplamalı, gofret yüzeyi. SSIS, PSL kürelerinin ve parçacıklarının X/Y konumunu belirleyebilir, her kusurun boyutunu tanımlayabilir ve gofret yüzeyindeki genel parçacık sayısını özetleyebilir. Tencor 6200, 6420 ve KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 ve KLA-Tencor SP3 gibi KLA-Tencor gofret inceleme sistemleri, bu uygulama için yarı iletken endüstrisinde kullanılmaktadır. Topcon, 3000, 5000 ve 7000 serisi Gofret Kontrol Sistemlerine sahiptir. Estek, ADE, Aeronca ve Hitachi ayrıca çeşitli gofret kontrol sistemleri sağlar. Bugün üretilen hemen hemen her SSIS, artık 30 nm parçacık boyutu hassasiyetinde veya daha iyi düzeyde algılama yapabilir. PSL Küreleri, gofret yüzeyindeki parçacık boyutu standartlarını temsil etmek için kullanılır. Applied Physics boyut kalibrasyonu, HEPA Filtre testleri vb. için 20 nm'den 160 mikrona kadar PSL Küresi boyutları sunar. PSL Küreleri telefonla sipariş edilebilir Applied Physics at (719) 428-4042.
PSL Küreleri, Parçacık Gofret Standartları olarak da adlandırılan PSL Gofret Standartlarını üretmek için PSL Gofret Biriktirme Sistemleri ile birlikte kullanılır. Her iki durumda da, PSL Wafer Standardı üretildikten sonra, bir gofret muayene sistemine yerleştirilir ve tek bir lazer SSIS veya çift lazer SSIS ile taranır. Gerçek PSL boyutu yanıtı, SSIS boyutu yanıtıyla karşılaştırılır. İki tepe eşleşmezse, SSIS kalibre edilmelidir. Önceden karıştırılmış, yüksek konsantrasyonlu PSL Küreler 2300XP1 sistemleri, 2300 NPT-1 sistemleri, 2300NPT-2 ve M2300G3 gofret biriktirme sistemleri içindir.
PSL Küreleri,% 1 konsantrasyon.
Önceden karıştırılmış PSL Küreleri, boyut olarak mono dağılmış (50 boyut dağılımı) bir 1ml şişesinde gelir ve yaklaşık 47nm ila 950nm boyutunda sağlanır. Bu PSL çözeltisi doğrudan nebülizöre veya atomizör kabına dökülür. Önceden karıştırılmış, polistiren lateks taneciklerini satın almanın uygun bir yoludur, çünkü tüm dilüsyon çok homojen bir şekilde gerçekleştirilir, muss, yaygara yok, kullanıcının beherler ve DI su kullanarak beherlerin polistiren lateks taneciklerinin karıştırılmasıyla uğraşmasına izin vermez ve ultrasonik tepsiler. Karışmamış PSL malzemesi, bir 15ml şişesinde, tek boyutlu olarak dağılmış (1 boyut dağılımı) ve genellikle% 1 konsantrasyonunda sağlanır. Bu PSL Küreleri çok çeşitli boyutlarda sağlanmıştır, ancak bizim amaçlarımıza göre 20nm'den 4um'a kadardır. PSL malzemesi uygun dilüsyona karıştırılmalıdır, aksi takdirde yukarıdaki PSL Gofret Kaplama Sistemlerinden biri tarafından biriktirmeye çalışırken etkili sonuçlar elde etmek için konsantre veya çok zayıf olacaktır. CleanRoom Sisleyici Bağlantısı