Parçacık Gofret Standartları
Parçacık Biriktirme, KLA-Tencor Surfscan SSIS aletlerinin boyut kalibrasyonu için PSL kürelerini ve silika parçacıklarını 150mm'den 300mm gofretlerine yerleştirmek için kullanılır.
PSL Gofret Standartları ve Silika Parçacık Gofret Standartları, önce Diferansiyel Hareketlilik Analizörü (DMA) ile bir PSL boyut tepe noktasını veya silika boyutu tepe noktasını analiz edecek bir Parçacık Biriktirme Sistemi ile üretilir. DMA, NIST İzlenebilir partikül boyutu kalibrasyonuna dayalı olarak oldukça hassas bir boyut tepe noktasını izole etmek için yoğunlaşma partikül sayacı ve bilgisayar kontrolü ile birlikte son derece hassas bir partikül tarama aracıdır. Boyut piki doğrulandıktan sonra, partikül boyutu akışı birincil silikon, plaka standart yüzeyine yönlendirilir; gofret boyunca tam bir biriktirme olarak veya gofret etrafındaki belirli yerlerde bir nokta biriktirme olarak biriktiği için sayılır. Wafer standartları, KLA-Tencor Surfscan SP1, KLA-Tencor Surfscan SP2, KLA-Tencor Surfscan SP3, KLA-Tencor Surfscan SP5, Surfscan SPx, Tencor 6420, Tencor 6220, Tencor 6200, ADE, Hitachi kalibrasyonu için partikül boyutunda oldukça doğrudur ve Topcon SSIS araçları ve plaka inceleme sistemleri. - 2300 XP1 Parçacık Biriktirme Sistemi, PSL Küreleri veya 150nm'den 200um'a kadar silika parçacıkları kullanarak 300mm, 30mm ve 2mm gofretler üzerinde biriktirebilir.
Diferansiyel Mobilite Analiz Cihazı, DMA Gerilim taraması, Silika Boyu Tepe, 100nm
Diferansiyel Mobilite Analiz Cihazı, DMA Voltajı, 100nm'de Silika boyutu tepe
PSL Küreler boyut standartları ve silika boyut standartları, gerçek boyut tepe noktasını belirlemek için bir diferansiyel mobilite analiz cihazı ile taranır. Boyut zirvesi analiz edildikten sonra, gofret standardı, tam bir biriktirme veya bir spot biriktirme veya çok noktalı bir çökeltme gofret standartları olarak bırakılabilir. 100 nano metrelerinde (0.1 mikron) Silika boyutu tepe yukarıda taranır ve DMA, 101nm'de gerçek bir silika boyutu tepe noktası algılar.
Tam Biriktirme veya Spot Biriktirme Gofret Standartları
BİR TEKLİF İSTEĞİ
Bir partikül biriktirme sistemi PSL Kalibrasyonlu Gofret Standartları ve Silika Kirlenme Gofret Standartları'nı oldukça hassas bir şekilde sağlar.
2300 XP1 Parçacık Kaplama Sistemi, PSL Gofret Standartlarınızı ve Silika Gofret Standartlarınızı üretmek için otomatik parçacık biriktirme kontrolü sağlar.
Parçacık Biriktirme Uygulamaları
Yüksek çözünürlüklü, NIST izlenebilir DMA (diferansiyel mobilite analizörü) boyutlandırma ve sınıflandırma, PSL boyut doğruluğu ve boyut dağılım genişliği için yeni SEMI Standartları M52, M53 ve M58 protokolünü aşıyor
60nm, 100nm, 269nm ve 900nm'de otomatik biriktirme boyutu kalibrasyonu
Gelişmiş sistem kararlılığı ve ölçüm doğruluğu için otomatik sıcaklık ve basınç dengeleme özelliğine sahip Gelişmiş Diferansiyel Mobilite Analiz Cihazı (DMA) teknolojisi
Otomatik biriktirme işlemi bir gofret üzerinde çoklu nokta biriktirme sağlar
Gofret Üzerindeki Tam Gofret Kompozisyonları; veya gofretin herhangi bir yerindeki Spot Birimleri
20nm'den 2um'a PSL küresi ve silis parçacıklarının birikmesine izin veren yüksek hassasiyet
Yüksek güçlü lazer tarama kullanarak gofret inceleme sistemlerinizin kalibrasyonu için silika parçacıklarını biriktirin
Düşük güçlü lazer taraması kullanarak gofret inceleme sistemlerinizin kalibrasyonu için PSL kürelerini kullanın
PSL kürelerini ve silika parçacıklarını birinci kalite silikon gofret standartları veya 150mm fotoğraf maskelerinize bırakın.
PSL Kalibrasyonlu Gofret Standardı, Silika Kirlenme Gofret Standardı
Parçacık Kaplama araçları, çeşitli gofret inceleme sistemlerini kalibre etmek için gofret standardında çok doğru bir PSL boyutu standardı veya silika partikül boyutu standardı koymak için kullanılır.
PSL Kalibrasyon Gofret Gofret taramak için düşük güçlü bir lazer kullanarak gofret muayene sistemlerinin kalibrasyonu için standart.
Silika Kontaminasyon Gofret Gofret taraması için yüksek güçlü bir lazer kullanarak gofret kontrol sistemlerinin kalibrasyonu için standart.
Kalibrasyon Maskesi Standardı veya Silika Maskesi Standardı
BİR TEKLİF İSTEĞİ
2300 XP1 ürünümüz NIST İzlenebilir, Sertifikalı maske Standartlarını 125mm ve 150mm borosilikat maskelerine bırakmaktadır.
125mm maskelerinde PSL Kalibrasyon Maskesi Standardı
150mm maskelerinde Silika Kirlenme Standardı
