Ürün Arama
Ürün kategorileri

Surf-Cal, Parçacık Boyutu Standartları, 50ml Hacim, 1x10E8 ve 1x10E10 Konsantrasyona Önceden Karıştırılmış / ml

SURF-CAL™ Parçacık Boyutu Standartları, Taramalı Yüzey İnceleme Sistemlerinin (SSIS) boyut kalibrasyonunda ve izlenmesinde kullanılır. Aşağıdaki partikül boyutları, cihaz üreticileri tarafından gerekli görülen kalibrasyon partikül boyutlarına karşılık gelir. Gofret inceleme tarayıcınızın diğer konumlardaki tarayıcılarla karşılaştırıldığından emin olmak için periyodik kalibrasyon kontrollerini ve haftalık boyut ve sayım izlemeyi tamamlamanız gerekir. Tüm polistiren mikroküreler, mL başına 50 x 3 E10 veya 8 x 1 E10 partikül konsantrasyonunda 10 mL şişe hacminde deiyonize, filtrelenmiş suda süspanse edilir. * ile belirtilen boyutlar, bu çaptaki NIST SRM parçacıklarına benzer. Kırılma İndeksi, aşağıdaki tüm polistiren mikroküreler için 1.59 @ 589nm'dir (25C). Her şişe 12 ay boyunca stabildir ve NIST'e göre bir Kalibrasyon ve İzlenebilirlik Sertifikası ile paketlenir.

SURF-CAL, NIST izlenebilir PSL (polistiren lateks) kürelerini çıplak silikon ve desen wafer'lar üzerine yerleştirerek, KLA-Tencor, Hitachi, ADE, Topcon SSIS araçlarınızda periyodik boyut kalibrasyon kontrolleri yapabilir ve gofret inceleme tarayıcınızı şu adresteki tarayıcılarla karşılaştırabilirsiniz: diğer yerler. Üretim sürecinin kritik aşamalarında SSIS'nizin performansını da değerlendirebilirsiniz. Tüm ürünler, 50 x3 e10 partikül/mL veya 10 x1 e10 partikül/mL konsantrasyonda 10 mL'lik şişelerdeki deiyonize, filtrelenmiş suda (DI su) süspanse edilir. Bu Surf-Cal parçacık boyutu standartları, Diferansiyel Hareketlilik Analizörü (DMA) veya diğer boyut dışlama teknikleri ile boyutlandırılmış polistiren mikrokürelerdir.

Parça Numarası

Konsantrasyon Sayısı/ml

Partikül Çapı

Boyut dağılımı

 50 ml Şişe Başına Fiyat

APPD-047 X 3 108 parçacıklar/mL 0.047 μm 0.004μm

$295.00   SEPETE EKLE

APPD-047B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.047 μm 0.004μm

$1495.00   SEPETE EKLE

APPD-064 X 3 108 parçacıklar/mL 0.064 μm 0.003μm

$295.00   SEPETE EKLE

APPD-064B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.064 μm 0.003μm

$1495.00   SEPETE EKLE

APPD-083 X 3 108 parçacıklar/mL 0.083 μm 0.004μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-083B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.083 μm 0.004μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-092 X 3 108 parçacıklar/mL 0.092 μm 0.004μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-092B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.092 μm 0.004μm

$1495.00   SEPETE EKLE

APPD-100* X 3 108 parçacıklar/mL 0.100 μm 0.003μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-100B* X 1 1010 parçacıklar/mL 0.100 μm 0.003μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-125 X 3 108 parçacıklar/mL 0.126 μm 0.003μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-125B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.126 μm 0.003μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-155 X 3 108 parçacıklar/mL 0.155 μm 0.003μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-155B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.155 μm 0.003μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-200 X 3 108 parçacıklar/mL 0.202 μm 0.004μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-200B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.202 μm 0.004μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-204 X 3 108 parçacıklar/mL 0.204 μm 0.004μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-204B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.204 μm 0.004μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-215 X 3 108 parçacıklar/mL 0.220 μm 0.003μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-215B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.220 μm 0.003μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-305 X 3 108 parçacıklar/mL 0.304 μm 0.004μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-305B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.304 μm 0.004μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-365 X 3 108 parçacıklar/mL 0.360 μm 0.005μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-365B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.360 μm 0.005μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-500 X 3 108 parçacıklar/mL 0.498 μm 0.006μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-500B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.498 μm 0.006μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-800 X 3 108 parçacıklar/mL 0.809 μm 0.006μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-800B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.809 μm 0.006μm

$1495.00   SEPETE EKLE

AP PD-802 X 3 108 parçacıklar/mL 0.802 μm 0.009μm

$295.00   SEPETE EKLE

AP PD-802B X 1 1010 parçacıklar/mL 0.802 μm 0.009μm

$1495.00   SEPETE EKLE

APPD1100 X 3 108 parçacıklar/mL 1.112 μm 0.011μm

$295.00   SEPETE EKLE

APPD1100B X 1 1010 parçacıklar/mL 1.112 μm 0.011μm

$1495.00   SEPETE EKLE

APPD1600 X 3 108 parçacıklar/mL 1.59 μm 0.016μm $295.00   SEPETE EKLE
APPD2000 X 3 108 parçacıklar/mL 2.01 μm 0.019μm $295.00   SEPETE EKLE
APPD3000 X 3 108 parçacıklar/mL 3.04 μm 0.026μm $295.00   SEPETE EKLE

Ölçüm Metodolojisi:

NIST izlenebilirliğini sağlamak için, bu ürünlerin sertifikalı çapları, NIST standart referans malzemelerinden (2) transmisyon elektronu veya optik mikroskopi ile aktarılmıştır. Belirsizlik, NIST Teknik Notu 1297, 1994 Baskısı "NIST Ölçüm Sonuçlarının Belirsizliğini Değerlendirme ve İfade Etme Yönergeleri" (4) kullanılarak hesaplanmıştır. Listelenen belirsizlik, iki (K=2) kapsama faktörü ile genişletilmiş belirsizliktir. Pik çapı, partikül boyutu dağılımının yaklaşık ± 2s aralığı kullanılarak hesaplandı. Boyut dağılımı, tüm pikin standart sapması (SDS) olarak hesaplandı. Değişim Katsayısı (CV), tepe çapının yüzdesi olarak ifade edilen bir standart sapmadır. FWHM (Yarım Maksimumda tam genişlik) dağılımı, tepe çapının yüzdesi olarak ifade edilen tepe yüksekliğinin yarısındaki dağılım olarak hesaplandı.

1. "Yarı İletkenler İçin Ulusal Teknoloji Yol Haritası", Yarı İletken Endüstrisi Derneği (1999)

2. SD Duke ve EB Layendecker, "Elektron Mikroskobu ile Mikron Altı Küresel Parçacıkların Boyut Kalibrasyonu için Dahili Standart Yöntemi", Fine Particle Society (1988)

3. SEMI M52 - Silikon Gofretler İçin Yüzey Muayene Sistemlerini Belirleme Rehberi 130 nm Teknoloji Üretimi.

4. Barry N. Taylor ve Chris E. Kuyatt, "NIST Ölçüm Sonuçlarının Belirsizliğini Değerlendirme ve İfade Etme Yönergeleri". NIST Teknik Notu 1297, 1994 baskısı, Eylül 1994.

Çevirmek "